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FLE10激光干涉尺的核心是频率稳定度很高的激光器,频率稳定度多在1e-8 至5e-8之间。当利用激光作为测量的基准时,这些误差折合到每米误差在0.01-0.05um之间。因此当利用激光的波长作为长度基准可以得到非常高的测量精度
开放式光栅尺的读数头和尺身要独立安装,这样很难保证相对位置的精准性,因此,开放式光栅尺必须拥有比封闭光栅尺更大的安装容差,而封闭光栅尺所采用的“莫尔条纹”的读取方式对尺身与读取结构的相对位置要求非常苛刻!所以,为保证开放光栅相对宽泛的安装容差,在应用时必须采用衍射式光栅的读数方法,确保信号读取稳定的同时,精度比莫尔条纹高50%以上。 开放式光栅尺另外一个核心问题是污染,对采用多场扫描的读数头来说污染是一个致命的问题,它将导致信号的失真乃至完全读取失败。单场扫描的读取方式则