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光纤激光尺的原理 ——激光干涉

       光纤激光干涉尺是一种超高精度位置闭环反馈系统。利用与激光干涉仪相同的测量原理和快速环境补偿技术，使整个系统的位置反馈精度达到与激光干涉仪相同的精度。微型激光传感测头和反射镜可以永久的安装在系统内，光纤的应用使探头的安装更灵活的同时摆脱了热辐射对测量精度的影响。补偿后的位置信号通过标准的TTL信号和SinCos信号输出几乎可以和任何控制器连接。低于300ns的位置延迟保证了超高的带宽，满足超高精度同时，动态范围也得到了比传统光栅尺更有效保证。

发布时间：2017-03-03